下列元件组成本系统: 
                  
                    - 垂直定向的真空室
 
                    - 长等离子体射流进行大面积喷涂
 
                    - 使用比传统 LPPS 大幅度降低的工作压力
 
                   
                  LPPS 混合系统可以生成三种不同体制的涂层: 
                  采用高枪焓蒸发特定类型的原材料,PS-PVD(等离子喷涂-PVD)可生产厚的、柱状结构 YSZ 涂层(100 至 300μ m)。 
                  以较高的沉积率,通过使用气态前体为原材料,PS-CVD(等离子喷涂-CVD)使用改进的传统热喷涂设备,在低于 0.5 毫巴的氛围下,生成类 CVD 涂层(<1 至 10 μm)。 
                  PS-TF(等离子喷涂薄膜)使用传统的热喷涂方法,但在较高的速度和热焓下,用液体薄膜生成薄而致密的喷涂层。 
                   
                  
                    
                      
                        
                           | 
                          LPPS 技术  | 
                         
                        
                          VPS?/?LPPS  | 
                          PS-PVD  | 
                          PS-CVD  | 
                          PS-TF  | 
                         
                      
                      
                        
                          室内压力  | 
                          50 mbar  | 
                          1 mbar  | 
                          0.5 mbar  | 
                          1 mbar  | 
                         
                        
                          原料  | 
                          金属  | 
                          陶瓷  | 
                          液体气态前体  | 
                          金属、陶瓷  | 
                         
                        
                          沉积状态  | 
                          液体  | 
                          蒸气  | 
                          蒸气  | 
                          液体  | 
                         
                        
                          涂层示例  | 
                          MCrAlY  | 
                          YSZ  | 
                          SiOx  | 
                          LSM  | 
                         
                      
                     
                                                          |