下列元件组成本系统:
- 垂直定向的真空室
- 长等离子体射流进行大面积喷涂
- 使用比传统 LPPS 大幅度降低的工作压力
LPPS 混合系统可以生成三种不同体制的涂层:
采用高枪焓蒸发特定类型的原材料,PS-PVD(等离子喷涂-PVD)可生产厚的、柱状结构 YSZ 涂层(100 至 300μ m)。
以较高的沉积率,通过使用气态前体为原材料,PS-CVD(等离子喷涂-CVD)使用改进的传统热喷涂设备,在低于 0.5 毫巴的氛围下,生成类 CVD 涂层(<1 至 10 μm)。
PS-TF(等离子喷涂薄膜)使用传统的热喷涂方法,但在较高的速度和热焓下,用液体薄膜生成薄而致密的喷涂层。
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LPPS 技术 |
VPS?/?LPPS |
PS-PVD |
PS-CVD |
PS-TF |
室内压力 |
50 mbar |
1 mbar |
0.5 mbar |
1 mbar |
原料 |
金属 |
陶瓷 |
液体气态前体 |
金属、陶瓷 |
沉积状态 |
液体 |
蒸气 |
蒸气 |
液体 |
涂层示例 |
MCrAlY |
YSZ |
SiOx |
LSM |
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